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讲座名称：光刻技术与光刻机

讲座人：梁瑞林 教授

讲座时间：3月26日10:00

讲座地点：广研院B5-205

讲座人介绍：

梁瑞林，ku酷游app入口,亚博app,皇冠hg666体育材料学科退休教授。曾任技术物理系副主任(技术物理ku酷游app入口,亚博app,皇冠hg666体育副院长)。中国电子学皇冠hg666体育高级皇冠hg666体育员，国家教委高等院校教材统编委员皇冠hg666体育委员，日本陶瓷学皇冠hg666体育海外皇冠hg666体育员。多次承担并完成国家自然科学基金项目、中国工程物理研究院项目、电子科学研究院项目、陕西省项目、企业委托项目，并获奖。其中，国家自然科学基金委员皇冠hg666体育与中国工程物理研究院联合基金项目的奖项，为国家自然科学基金委员皇冠hg666体育银质奖。兼任地方政府技术顾问、企业技术顾问30多年。科学出版社出版专著、译著9部，国防工业出版社出版合著一部。国内外发表论文30余篇。

讲座内容：

介绍光刻机的相关情况。

主办单位：广州研究院